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天津华海清科机电科技有限公司(简称“华海清科”)是天津市政府与清华大学为推动我国化学机械抛光(简称CMP)技术和设备产业化而合资成立的高新技术企业。公司成立于2013年4月,注册资本6000万元人民币,座落于天津市津南区海河科技园。华海清科致力于我国极大规模集成电路关键装备及其它电子制造关键装备的研究、开发、制造和市场服务。主要从事集成电路平坦化工艺设备的研发、设计、制造与市场服务。并在半导体照明(LED)生产制造设备、太阳能电池生产制造设备及手机屏幕(蓝宝石)制造设备等信息产业制造装备的研发与制造方面形成独特优势。公司现拥有研发队伍60余人(其中博士占8%,硕士占70%),海外专家8人,是目前国内的12英寸(300mm)铜抛光设备与工艺的研发团队。公司现拥有3000m2的生产研发和办公区域,其中千级无尘室400m2,万级无尘室600m2,可供10台大型设备同时生产与调试。目前公司与中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、华进半导体封装先导技术研发中心有限公司等4家国内的企业签订了设备销售或测试协议。[详细介绍]
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